3靶等離子濺射儀

簡要描述：VTC-16-3HD是一款緊湊型CE認證的等離子薄膜濺射儀（直流普通型），基片Z大尺寸2英寸，加熱溫度為500度和控制面板為觸摸屏模式。它可以濺射三種類型的靶材和放置樣品的直徑是50mm . 旋轉(zhuǎn)樣品臺，可以依次在同一樣品上涂覆三種材料，金靶，銀，銅, 它可以與真空泵，不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍相連用.

產(chǎn)品型號：VTC-16-3HD
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時間：2025-02-10
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薄膜制備全套設備

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3靶等離子濺射儀技術參數(shù)

輸入功率	110V / 220V 通用 < 2000W (含真空泵)
輸出功率	1600VDC zui大電流50mA
樣品室	石英罩： 160 mm Dia. x 120mm Height
加熱樣品臺	一個外徑50 mm 的樣品臺, 可以移動三個位置基片可以放在樣品臺上. 加熱溫度 500°C PID控溫方式和觸摸屏面板，控溫精度+/-10°C zui長濺射時間不可超過5分鐘
控制面板	控制面板為PLC，4.3" 觸摸屏一個控制面板可以控制所有的參數(shù),包括真空度 , 電流 , 靶材位置和基片加熱溫度
可選	KF25 真空接口、卡箍，和600mm長不銹鋼波紋管 120L/M旋片式真空泵（包含在儀器內(nèi)）不銹鋼波紋管與KF-25真空接口相連接各種高純度金屬靶需要一個帶壓力調(diào)節(jié)器的氬氣瓶（這個我們不提供）
進氣口	一個精密可調(diào)針閥安裝在進氣口，以實現(xiàn)方便的調(diào)節(jié)進氣量
靶材	標配靶材分別有金，銀，銅靶材: 尺寸: 金靶 47 mm dia. x 0.12 mm, 1pcs 銀靶 47 mm dia. x 0.5 mm, 1pcs 銅靶 47 mm dia. x 2.0 mm, 1pcs 可選靶材點擊鏈接、 Pt , Ag target , Zinc tarhetD
外形尺寸	360mm × 350mm × 360mm (L×W×H) 凈重:50KG
質(zhì)保期	一年質(zhì)保期，相關耗材除外，終身維護。
質(zhì)量認證	Certified